Süsiniktetrafluoriidi CF4 on fluori ja vabade radikaalse süsinikfluoriidi allikas, mida kasutatakse erinevates vahvlite söövitusprotsessides {. süsiniktetrafluoriidi CF4 kombineeritakse hapnikuga, et söödaks polüsilicon, räni dioksiid ja räni nitriid {{3} süsinik Ventileerimata piirkondades . raadiosageduslikus plasmakeskkonnas ilmuvad fluorivabad radikaalid tüüpilise süsiniku trifluoriidi või süsiniku difluoriidi kujul . suure puiduga süsiniktetrafluoriidi abil saab töötlemisprotsessi hästi kontrollida, nii et see on parem, mis ei ole teistsugused, mis ei ole teistsugused {{{} paremad {}. Spetsiaalsed juhtseadised (näiteks pooljuhtide anisotroopia juhtimine) Kui nad puutuvad kokku õhu või hapnikuga ., on selle kõrge puhtusarjagaasi ja kõrge puiduga süsiniktetrafluoriidi gaasi segu ja kõrge puhtusarjaga katiooniga hapnikku laialdaselt kasutatav küünlad, mis on räni, ränist ja silikoonne nitrode, fosfoorne ja fosfrosfosfoor. materjalid .
Süsiniktetrafluoriidi CF4-l on anesteetiline toime kõrge kontsentratsiooni korral .. Selle kõrge puhtusega gaas ja segu koos kõrge puhtusarjaga hapnikuga on kõige laialdasemalt kasutatavad plasma-söövitusgaasid mikroelektroonikatööstuses. {{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{}, mida saab kasutada ka madala-temproterature ja madala temporiga. Termiline stabiilsus, on paljude reagentide suhtes inertne ega hüdrolüüsi 1000 kraadi juures ..
Tetrafluorometaanil (CF4) on kõrge stabiilsusega ja see on täiesti mittetäielik gaas . See ei reageeri hapete, leelise ja oksüdeerijatega toatemperatuuril, ei reageeri selliste siirdemetallidega nagu Cu, Ni, W ja MO alla 900 kraadi, ning ei reageeri alla 900-kraadise kraadiga, ja ei reageeri sellele, et süsinik, ja seda ei saa alla panna süsiniku, ja ei saa seda teha süsinikuga ja ei reageerida süsinikuga, ja ei reageerida süsinikuga, ja ei ole alla. Ammoniaagis-naatriummetalli reagendid toatemperatuuril ja CF4 võib reageerida leelisemetallide, aluseliste maametallide ja SiO2-ga kõrgetel temperatuuridel, et genereerida vastavaid fluoriidi . CF4 hakkab lagunema 800 kraadi juures ja saab teha CO ja CO2, et nad moodustavad elektrilised elektrilised, mis moodustavad POOM-i. CF4 süsinikkaare temperatuuridel, et sünteesida teiste fluorobrobonide .
Kuum tags: CF4, Hiina CF4 tootjad, tarnijad, tehas
